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《三星半导体配套2期秀博瑞殷(西安)电子材料有限公司新建项目环境影响评价报告表》

发布时间:2020-09-28人气:24

三星半导体配套2期秀博瑞殷(西安)电子材料有限公司新建项目位于综四路以北,综三路以南,保二路以东,东巡逻道以西地块,总占地面积35667m2,总建筑面积12000m2。项目拟新建4条生产线:包括HF刻蚀液生产线,LAL500生产线,HSN生产线,PAN ETCHANT生产线。项目达成后将实现年产刻蚀液68400吨/年,项目拟购置设备212套,其中进口设备210套,本项目总投资3600万美元,其中环保投资340万美元,占总投资的9.44%。

项目关注的主要环境问题为:

①项目生产过程中排放的废气污染物主要为含氟废气、氨气、醋酸雾、磷酸雾、硝酸雾等酸性废气,废气污染物排放量较少,排放种类较多,酸性废气采用喷淋洗气装置吸收处理;主要关注废气排放产生的影响及废气处理装置的处理效果;

②项目生产过程中产生的固废环境影响及污染防治措施;

③项目在生产过程中存储超过临界量的HF、NH4F,以及正硅酸乙酯、硝酸等危险化学品,项目应着重关注储存的化学品在储存过程中环境风险影响。


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